特用製程氣體檢測服務SPECIAL GAS ANALYSIS SERVICE

半導體產業製程所使用使用的特殊氣體種類越發多元化, 其純度與不純物質的含量,會直接或間接的影響到製程的品質及良率
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隨先進製程之迅速發展,半導體製程、光電面板製程、太陽能產業製程所使用使用的特殊氣體種類也越發多元化(如NH3、NF3、N2O、CO2、CF4…等)。所使用的這些特殊氣體中,其純度與不純物質的含量,會直接或間接的影響到製程的品質及良率。SGS 提供完整特殊氣體之分析檢測服務,為客戶所使用之製程特殊氣體嚴格把關。

 

特殊氣體檢測服務服務內容

  • 氣體中水份濃度分析
  • 氣體中微量金屬元素與離子含量分析
  • 氣體中總碳氫化合物含量分析
  • 氣體中其他不純物分析
  • 混和氣體中濃度分析
半導體超微量分析服務〈氣體〉
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+886 3 667 3956
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30272 新竹縣竹北市文興路一段286號