無塵室建置全方位解決方案CLEANROOM TOTAL SOLUTION

SGS 提供無塵室設計、建造、確效、輔導全方位解決方案
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無塵室環境潔淨度不足或耐用性不佳,容易造成汙染源無法去除、背景微粒子值過高、製程產出的離子類金屬類或有機類化合物之污染物殘存造成良率下降。不良的無塵室設計除了可能影響無塵室效能外,更會直接或間接影響機台設備以及產品的污染。

 

SGS 參考 ISO 14644-1:2015、NEBB… 等相關規範,協助各家廠商進行無塵室的全方位解決方案

 

  • 依照使用功能設計無塵室
  • 快速建設模組化經濟型無塵室
  • 無塵室統包工程
  • 無塵室效能測試
  • 無塵室效能等級評估
  • Particle 微粒子含量測試
  • 無塵室使用與維護教育訓練
  • 無塵室定期清潔與確效
  • 無塵室改善評估計畫
  • 依造無塵室使用功能輔導取得各式認證

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半導體超微量分析服務〈專案〉
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