無塵室空降污染分子檢測服務AIRBORNE MOLECULAR CONTAMINANTS (AMC) ANALYSIS SERVICE

AMC對半導體製程良率影響甚大, 定期檢測AMC是為預防產品微汙染重要工作
pic01

AMC 係指-環境中有能力沈降於表面上形成單分子層(monolayer)薄膜之氣態化學污染物質。因半導體晶圓越微小化、平面顯示器尺寸巨大化,製程產品正面臨微量污染物嚴重威脅,對於無塵室生產環境的潔淨度要求也越來越嚴謹及重要。現今 AMC 的污染濃度雖未與目前的潔淨室等級形成直接關係,但 AMC 的存在確實對製程有嚴重的影響。

 

AMC常見來源:

  • 製程中使用的化學品,造成化學濾網效率降低或釋出
  • 鄰近工廠使用含硫有機溶劑排放之有機硫化物
  • 石化製程排放之揮發性有機物及其光化學反應物質
  • 大氣中硫氧化物,氮氧化物
  • 無塵室部分建材、機具、器材等相關物品所揮發之 VOCs
 
AMC 
半導體超微量分析服務〈台北〉
TEL
+886 2 2299 3279  分機7317
FAX
+886 2 2298 1338
ADD
24890 新北市五股區(新北產業園區)五權七路38號
半導體超微量分析服務〈竹科〉
FAX
+886 3 667 3956
ADD
30272 新竹縣竹北市文興路一段286號
半導體超微量分析服務〈台中〉
TEL
+886 4 2359 1515  分機1503
FAX
+886 2 2298 1338
ADD
40755 台中市台中工業區14路9號
半導體超微量分析服務〈南科〉
TEL
+886 6 505 8469  分機101
FAX
+886 6 505 8470
ADD
74147 台南市新市區南科二路12號 R400A
半導體超微量分析服務〈高雄〉
TEL
+886 7 301 2121  分機4806
FAX
+886 7 301 0860
ADD
81170 高雄市楠梓加工出口區開發路61號